Richtwerkzeug, Richtvorrichtung, Richtverfahren, Bearbeitungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung

EP1426140 Art B1 10. Juli 2013

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1426140
Aktenzeichen: EP02765417
Anmeldetag: 5. September 2002
Veröffentlichung: 10. Juli 2013
Erteilung: 10. Juli 2013
Rechtsraum: EP
IPC: B24B53/12B24B53/02B24B37/00H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von