Verfahren zur Abscheidung von Atomschichten aus Metallen

EP1426463 Art B1 19. Dezember 2007

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1426463
Aktenzeichen: EP03025374
Anmeldetag: 4. November 2003
Veröffentlichung: 19. Dezember 2007
Erteilung: 19. Dezember 2007
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/14C23C16/30C23C16/56H01L21/285C23C16/08C30B25/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von