Elektronenstrahlbelichtungs-Vorrichtung und Verfahren

EP1432009 Art A3 23. Juni 2010

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation, CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1432009
Aktenzeichen: EP03018059
Anmeldetag: 7. August 2003
Veröffentlichung: 23. Juni 2010
Rechtsraum: EP
IPC: B82Y40/00B82Y10/00H01J37/304H01J37/317H01J37/147

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Hitachi High-Technologies Corporation
CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

3.840 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

10.659 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von