Verfahren zur Dünnfilmschichtstrukturanalyse mit einem Spektroskopischen Ellipsometer
EP1435517
Art B1
15. Juni 2011
Anmelder: HORIBA, LTD., Horiba, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1435517
- Aktenzeichen
- EP02798038
- Anmeldetag
- 6. September 2002
- Veröffentlichung
- 15. Juni 2011
- Erteilung
- 15. Juni 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/21G01B11/06G01J4/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- HORIBA, LTD.
Horiba, Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Horiba
Horiba ist ein japanischer Hersteller wissenschaftlicher und analytischer Messinstrumente. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Softwarethemen. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Schmidt, Frank-Michael
Essen, Deutschland
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Weitere Vertreter
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