Vorrichtung und Verfahren zum Elektronenstrahlschreiben

EP1435640 Art B1 27. Februar 2013

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation, CANON KABUSHIKI KAISHA, Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1435640
Aktenzeichen: EP03017075
Anmeldetag: 28. Juli 2003
Veröffentlichung: 27. Februar 2013
Erteilung: 27. Februar 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/317H01J37/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Hitachi High-Technologies Corporation
CANON KABUSHIKI KAISHA
Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

3.840 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

10.659 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von