Elektronenstrahlvorrichtung mit Dunkelfelddetektor

EP1437759 Art B1 16. Juli 2014

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1437759
Aktenzeichen: EP04000153
Anmeldetag: 7. Januar 2004
Veröffentlichung: 16. Juli 2014
Erteilung: 16. Juli 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/28H01J37/244

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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