Verfahren zur Herstellung und Transmissionsbestrahlung einer Probe und geladene Teilchen-optisches System

EP1443541 Art B1 10. Dezember 2008

Anmelder: FEI COMPANY, FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1443541
Aktenzeichen
EP04000400
Anmeldetag
10. Januar 2004
Veröffentlichung
10. Dezember 2008
Erteilung
10. Dezember 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/20G01N1/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
FEI COMPANY
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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