Waferträgeransatz für einen Halbleiterwafer-Transportbehälter
EP1446338
Art A1
18. August 2004
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1446338
- Aktenzeichen
- EP02780644
- Anmeldetag
- 13. November 2002
- Veröffentlichung
- 18. August 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B65D85/90
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
Geyer, Werner, Dr.-Ing
München, Deutschland
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