Prozess zur Herstellung von Mehrschichtsystemen

EP1446811 Art A1 18. August 2004

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1446811
Aktenzeichen: EP01274591
Anmeldetag: 24. Oktober 2001
Veröffentlichung: 18. August 2004
Rechtsraum: EP
IPC: G21K1/06G02B5/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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