Verfahren zur Erzeugung einer kreisförmigen periodischen Struktur auf einem Basisträgermaterial
EP1447714
Art A3
16. Februar 2005
Anmelder: PAUL SCHERRER INSTITUT 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1447714
- Aktenzeichen
- EP03007559
- Anmeldetag
- 1. April 2003
- Veröffentlichung
- 16. Februar 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PAUL SCHERRER INSTITUT
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
PAUL Scherrer Institut
Das Paul Scherrer Institut ist das größte Forschungszentrum für Natur- und Ingenieurwissenschaften der Schweiz mit Sitz in Villigen und Anbindung an Großforschungsanlagen wie Synchrotron und Freie-Elektronen-Laser. Die Patente betreffen vor allem Mess- und Prüftechnik sowie Halbleiterelemente, ergänzt um Medizintechnik, Verfahrenstechnik und Optik. Anmeldungen erfolgen kontinuierlich seit 2000.
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Fachgebiete
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Fischer, Michael, Dr
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