Rasterelektronenmikroskop und Probenbeobachtungsverfahren

EP1453077 Art A2 1. September 2004

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation, Hitachi Science Systems, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1453077
Aktenzeichen: EP03030029
Anmeldetag: 30. Dezember 2003
Veröffentlichung: 1. September 2004
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/21H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Hitachi High-Technologies Corporation
Hitachi Science Systems, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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