Wafereinkapselungsdichtungsanordnung für Waferbehälter

EP1453741 Art A1 8. September 2004

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1453741
Aktenzeichen
EP02780679
Anmeldetag
13. November 2002
Veröffentlichung
8. September 2004
Rechtsraum
EP
IPC
B65D53/00B65D41/14B65D45/00B65D43/04B65D85/00B65D85/48F16J15/14F16L21/025F16L17/03F16L17/025F16L15/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Verpackungs- & Fördertechnik
Vertreten von
Geyer, Werner, Dr.-Ing München, Deutschland
167
Patente gesamt
28
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektrische Energietechnik Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Verpackungs- & Fördertechnik
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