Probenabbildungsverfahren und System mit einem Strahl Geladener Teilchen

EP1455378 Art B1 14. August 2013

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1455378
Aktenzeichen: EP01274171
Anmeldetag: 21. November 2001
Veröffentlichung: 14. August 2013
Erteilung: 14. August 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G01N23/22H01J37/22H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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