Mechanische Verstärkung von dichten und porösen Organosilikatmaterialien durch UV-Bestrahlung
Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1457583
- Aktenzeichen
- EP04004877
- Anmeldetag
- 2. März 2004
- Veröffentlichung
- 11. Oktober 2017
- Erteilung
- 11. Oktober 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/316C23C16/40C23C16/56H01L21/3105
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.
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US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
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Vertreten von
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Kador & Partner Part mbB
Kador & Partner Part mbB · München
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Kador & Partner
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