Mechanische Verstärkung von dichten und porösen Organosilikatmaterialien durch UV-Bestrahlung

EP1457583 Art B8 11. Oktober 2017

Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1457583
Aktenzeichen: EP04004877
Anmeldetag: 2. März 2004
Veröffentlichung: 11. Oktober 2017
Erteilung: 11. Oktober 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/316C23C16/40C23C16/56H01L21/3105

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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