Teilchenoptischer Apparat zur Bestrahlung eines Objekts
EP1458005
Art B1
13. August 2008
Anmelder: FEI COMPANY, FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1458005
- Aktenzeichen
- EP04075506
- Anmeldetag
- 17. Februar 2004
- Veröffentlichung
- 13. August 2008
- Erteilung
- 13. August 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/20G03F7/20H01L21/68
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- FEI COMPANY
FEI Company - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
618
Patente gesamt
28
Fachgebiete
4
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Schwerpunkte