Elektronenmikroskop mit Energiefilter

EP1463089 Art A3 29. Juli 2009

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1463089
Aktenzeichen: EP04006957
Anmeldetag: 23. März 2004
Veröffentlichung: 29. Juli 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/252H01J37/05H01J37/147

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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