Dummy-Kupfer-Entschichtung
EP1465243
Art A3
5. April 2006
Anmelder: FEI COMPANY, FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1465243
- Aktenzeichen
- EP04075795
- Anmeldetag
- 11. März 2004
- Veröffentlichung
- 5. April 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311H01L21/3213H01J37/305
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- FEI COMPANY
FEI Company - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
618
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28
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4
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