Waferträgertür und -Verriegelungsmechanismus

EP1466063 Art A1 13. Oktober 2004

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1466063
Aktenzeichen
EP03703808
Anmeldetag
14. Januar 2003
Veröffentlichung
13. Oktober 2004
Rechtsraum
EP
IPC
E05C19/10
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Hochbau & Gebäudetechnik
Vertreten von
Geyer, Werner, Dr.-Ing München, Deutschland
167
Patente gesamt
28
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektrische Energietechnik Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Verpackungs- & Fördertechnik
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