Vorrichtung und Verfahren zur Überwachung der Umgebung in einem Behälter

EP1467915 Art A2 20. Oktober 2004

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1467915
Aktenzeichen
EP02805681
Anmeldetag
20. Dezember 2002
Veröffentlichung
20. Oktober 2004
Rechtsraum
EP
IPC
B65D1/00H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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