Vorrichtung und Verfahren zur Überwachung der Umgebung in einem Behälter
EP1467915
Art A2
20. Oktober 2004
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1467915
- Aktenzeichen
- EP02805681
- Anmeldetag
- 20. Dezember 2002
- Veröffentlichung
- 20. Oktober 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B65D1/00H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
Breit, Ulrich
München, Deutschland
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16
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7
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