Einrichtung zur Handhabung von Halbleiterkomponenten mit einem Elektrostatischen Dissipationsfilm
EP1470570
Art A2
27. Oktober 2004
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1470570
- Aktenzeichen
- EP02789916
- Anmeldetag
- 26. November 2002
- Veröffentlichung
- 27. Oktober 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
Geyer, Werner, Dr.-Ing
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