Vorläuferverbindungen für metallhaltige Schichten

EP1471568 Art A1 27. Oktober 2004

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1471568
Aktenzeichen: EP04009212
Anmeldetag: 19. April 2004
Veröffentlichung: 27. Oktober 2004
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/285C23C16/18C07F1/00C07F3/00C07F15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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