Polierstück, Polierplattenlochabdeckung, Poliervorrichtung, Polierverfahren und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements

EP1475827 Art A1 10. November 2004

Anmelder: TORAY INDUSTRIES, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1475827
Aktenzeichen: EP03791287
Anmeldetag: 26. August 2003
Veröffentlichung: 10. November 2004
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TORAY INDUSTRIES, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toray Industries

Japanischer Chemie- und Materialkonzern mit Sitz in Tokio. Toray entwickelt Kohlefasern, synthetische Fasern, Kunststoffe, Chemikalien sowie Materialien für Textil-, Automobil-, Elektronik- und Luftfahrtindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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