CVD-Abscheidung von Hf und Zr enthaltenden Oxinitride Filmen

EP1479790 Art B1 26. Oktober 2005

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1479790
Aktenzeichen: EP04011822
Anmeldetag: 18. Mai 2004
Veröffentlichung: 26. Oktober 2005
Erteilung: 26. Oktober 2005
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/30C23C16/455H01L21/314

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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