Hochauflösende Defekterkennung mit Positronenrekombination durch gleichzeitiges Einstrahlen eines Positronenstrahls und eines Elektronenstrahls
EP1480034
Art B1
23. August 2006
Anmelder: Hitachi, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1480034
- Aktenzeichen
- EP04010485
- Anmeldetag
- 3. Mai 2004
- Veröffentlichung
- 23. August 2006
- Erteilung
- 23. August 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N23/22H01J37/256H01J37/26
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi, Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi
Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.
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