Mikroskopisches Untersuchungssystem mit mehreren Detektoren

EP1481279 Art B1 19. Juni 2013

Anmelder: KLA-Tencor Technologies Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1481279
Aktenzeichen
EP03715985
Anmeldetag
5. Februar 2003
Veröffentlichung
19. Juni 2013
Erteilung
19. Juni 2013
Rechtsraum
EP
IPC
G02B21/00G02B21/18G02B17/08G02B21/36G02B21/02G02B17/04G02B21/04
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA-Tencor Technologies Corporation
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Kanzlei
Kancelaria Patentowa Lukaszyk

Gegründet 1992 in Chorzów bei Katowice, kurz nach Öffnung der privaten Anwaltstätigkeit in Polen. Verbindet juristische mit naturwissenschaftlich-technischer Expertise von Chemie und Pharmazie bis Gentechnik und Nanotechnologie und begleitet Patent- sowie internationale PCT- und EPA-Verfahren.

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