Näherung-CVD-Beschichtungsverfahren

EP1491654 Art B1 2. Juni 2010

Anmelder: FEI COMPANY, FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1491654
Aktenzeichen
EP04076811
Anmeldetag
21. Juni 2004
Veröffentlichung
2. Juni 2010
Erteilung
2. Juni 2010
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/04H01J37/317
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
FEI COMPANY
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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