Werkstückimplantierungsverfahren und Ionenimplantierungsvorrichtung zur Durchführung Dieses Verfahrens

EP1493171 Art A2 5. Januar 2005

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1493171
Aktenzeichen
EP03710007
Anmeldetag
21. März 2003
Veröffentlichung
5. Januar 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/317H01J37/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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