Verfahren zum Herstellen strukturierter Dünnschichten

EP1493835 Art A3 2. März 2005

Anmelder: IMEC VZW, IMEC, INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1493835
Aktenzeichen
EP04015799
Anmeldetag
5. Juli 2004
Veröffentlichung
2. März 2005
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/02C23C14/04C23C14/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC VZW
IMEC
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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