Verfahren zur Stromlosen Metallabscheidung und Halbleiterwafer mit Darauf Ausgebildeter Metallabscheidungsschicht

EP1498511 Art B1 6. Juli 2016

Anmelder: JX Nippon Mining & Metals Corporation, Nippon Mining Holdings, Inc., Nippon Mining & Metals Co., Ltd., Nikko Materials Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1498511
Aktenzeichen
EP03747201
Anmeldetag
26. März 2003
Veröffentlichung
6. Juli 2016
Erteilung
6. Juli 2016
Rechtsraum
EP
IPC
C23C18/28H01L21/288C23C18/18C23C18/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JX Nippon Mining & Metals Corporation
Nippon Mining Holdings, Inc.
Nippon Mining & Metals Co., Ltd.
Nikko Materials Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
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