Verwendung von Hypofluoriten, Fluorperoxyden, und/oder Fluortrioxyden als Oxidationsmittel in Fluorkohlenstoff- Ätzplasmmen

EP1498940 Art A3 24. August 2005

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1498940
Aktenzeichen: EP04016212
Anmeldetag: 9. Juli 2004
Veröffentlichung: 24. August 2005
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/311C07C17/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

906 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Organische Chemie

Vertreten von