Verfahren zum Trockenätzen von magnetischen Materialen

EP1500720 Art A1 26. Januar 2005

Anmelder: Canon Anelva Corporation, ANELVA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1500720
Aktenzeichen
EP04254457
Anmeldetag
26. Juli 2004
Veröffentlichung
26. Januar 2005
Rechtsraum
EP
IPC
C23F4/00H01F41/30H01F1/14H01F1/34H01L21/3213G11B5/31
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Canon Anelva Corporation
ANELVA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

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