Programm zur Anlayse von Inspektionsdaten, Inspektionshilfsmittel, Vorrichtung zur Nachprüfung und Vorrichtung zur Ausbeuteanalyse

EP1500996 Art B1 21. Mai 2008

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1500996
Aktenzeichen: EP04015911
Anmeldetag: 6. Juli 2004
Veröffentlichung: 21. Mai 2008
Erteilung: 21. Mai 2008
Rechtsraum: EP
IPC: G05B19/418H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

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