Verfahren und Vorrichtung zur Vhf-Plasmabehandlung
EP1506564
Art A2
16. Februar 2005
Anmelder: MKS Instruments, Inc., Eni Technology, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1506564
- Aktenzeichen
- EP03755332
- Anmeldetag
- 14. April 2003
- Veröffentlichung
- 16. Februar 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS Instruments, Inc.
Eni Technology, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Fachgebiete
Vertreten von
Fritzon, Rolf
Stockholm, Schweden
317
Patente gesamt
26
Fachgebiete
13
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Kransell & Wennborg KB
Kransell & Wennborg KB · Stockholm
-
Hasselgren, Erik Joakim
NoneStockholm