Photosensitiver Lack zur Beschichtung auf einem Halbleiter-Substrat oder einer Maske

EP1509815 Art A1 2. März 2005

Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1509815
Aktenzeichen: EP03755914
Anmeldetag: 30. Mai 2003
Veröffentlichung: 2. März 2005
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/039

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Infineon Technologies AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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