Reinigung, Analyse und Abscheidung von Titanamide

EP1510596 Art A3 20. Februar 2008

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1510596
Aktenzeichen: EP04028410
Anmeldetag: 6. Oktober 2000
Veröffentlichung: 20. Februar 2008
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/34H01L21/3205C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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