Adapter für Zerstäubungskathode
EP1511876
Art B1
29. April 2009
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Tokyo Electron Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1511876
- Aktenzeichen
- EP03736612
- Anmeldetag
- 14. Mai 2003
- Veröffentlichung
- 29. April 2009
- Erteilung
- 29. April 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/34H01J37/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOKYO ELECTRON LIMITED
Tokyo Electron Limited - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414 Patente in unserer Datenbank
Kanzlei
Boehmert & Boehmert
München, Deutschland
Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.
38.880
Patente gesamt
25
Patentanwälte
2
Standorte
Weitere Vertreter
-
Wallace, Sheila Jane
NoneLondon
-
Findlay, Alice Rosemary
Reddie & Grose LLP · London