Verfahren zur Verwendung einer Einrichtung mit fokussiertem Strahl zum Extrahieren von Proben aus Werkstücken
EP1512956
Art A3
26. April 2006
Anmelder: FEI COMPANY, FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1512956
- Aktenzeichen
- EP04077321
- Anmeldetag
- 17. August 2004
- Veröffentlichung
- 26. April 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N1/04G01N1/00G01N23/00H01L21/00H01J37/00G01N1/32G01N1/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- FEI COMPANY
FEI Company - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
618
Patente gesamt
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Fachgebiete
4
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