Kompakter Elektronenstrahlerzeuger

EP1515358 Art A3 17. November 2010

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1515358
Aktenzeichen: EP04015558
Anmeldetag: 1. Juli 2004
Veröffentlichung: 17. November 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/18H01J37/07H01J7/16H01J7/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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