Metallpolierzusammensetzung, Polierverfahren unter Verwendung der Zusammensetzung sowie Verfahren zur Waferherstellung nach dem Polierverfahren

EP1517972 Art A1 30. März 2005

Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1517972
Aktenzeichen: EP03741115
Anmeldetag: 6. Juni 2003
Veröffentlichung: 30. März 2005
Rechtsraum: EP
IPC: C09K3/14H01L21/304C09G1/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Showa Denko K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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