Frequenzabhängige Filterung von Signalen in einer Radiofrequenzplasmaquelle

EP1520288 Art B1 17. Oktober 2018

Anmelder: MKS Instruments, Inc., Eni Technology, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1520288
Aktenzeichen
EP03721634
Anmeldetag
14. April 2003
Veröffentlichung
17. Oktober 2018
Erteilung
17. Oktober 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32H03H7/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
MKS Instruments, Inc.
Eni Technology, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

425 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Fritzon, Rolf Stockholm, Schweden
317
Patente gesamt
26
Fachgebiete
13
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Landwirtschaft & Nahrungsmitteltechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektronik & Schaltungstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Medizintechnik & Gesundheit
Zum Anwaltsprofil
Weitere Vertreter

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen