Vorrichtung zur Submikrometer Metallabscheidung

EP1521293 Art A1 6. April 2005

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1521293
Aktenzeichen: EP04018410
Anmeldetag: 3. August 2004
Veröffentlichung: 6. April 2005
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00H01L21/428C23C16/04C23C16/18C23C16/48C23C16/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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