Verfahren und Vorrichtung zur Ladungsträgerstrahllithographie

EP1523027 Art A3 7. April 2010

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation, CANON KABUSHIKI KAISHA, Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1523027
Aktenzeichen: EP04023854
Anmeldetag: 6. Oktober 2004
Veröffentlichung: 7. April 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/04H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Hitachi High-Technologies Corporation
CANON KABUSHIKI KAISHA
Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

3.840 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

10.659 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von