Verfahren zum Ätzen von glatten Seitenwänden in III-V Verbindungen für elektro-optische Vorrichtungen
EP1528592
Art B1
28. Mai 2008
Anmelder: Avago Technologies Fiber IP (Singapore) Pte. Ltd., Agilent Technologies, Inc. 🇸🇬
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1528592
- Aktenzeichen
- EP04013445
- Anmeldetag
- 8. Juni 2004
- Veröffentlichung
- 28. Mai 2008
- Erteilung
- 28. Mai 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/306H01L21/3065
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Avago Technologies Fiber IP (Singapore) Pte. Ltd.
Agilent Technologies, Inc. - Land
- 🇸🇬 Singapur
🇺🇸
Agilent Technologies
US-amerikanischer Hersteller von Analysegeräten, Labortechnik und Diagnostiklösungen, 1999 als Ausgründung von Hewlett Packard entstanden. Schwerpunkte sind Chromatographie, Massenspektrometrie und Life-Science-Instrumente.
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Vertreten von
Schoppe, Fritz
Pullach, Deutschland
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Dilg, Haeusler, Schindelmann Patentanwaltsgesellschaft mbH
Dilg, Haeusler, Schindelmann Patentanwaltsgesellschaft mbH · München
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NoneMünchen