Substratverarbeitungsvorrichtung und Substratverarbeitungsverfahren

EP1532668 Art A1 25. Mai 2005

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1532668
Aktenzeichen
EP03730715
Anmeldetag
30. Mai 2003
Veröffentlichung
25. Mai 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/304C23C18/00C25C7/00C25D5/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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