Reparatur von Defekten auf Fotomasken mit einem Geladenen Teilchenstrahl und Topographische Daten aus einem Raster Sondenmikroskop
EP1534873
Art A2
1. Juni 2005
Anmelder: FEI COMPANY, FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1534873
- Aktenzeichen
- EP03785301
- Anmeldetag
- 8. August 2003
- Veröffentlichung
- 1. Juni 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/58
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- FEI COMPANY
FEI Company - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
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