Verfahren zum Reinigen einer Kammer zur Aufdampfung von Werkstoffen hoher Dielektrizitätskonstante

EP1536035 Art A3 13. Juli 2005

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1536035
Aktenzeichen: EP04027432
Anmeldetag: 18. November 2004
Veröffentlichung: 13. Juli 2005
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/44H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

906 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von