Verfahren zur Reiningung eines Abscheidungskammer von Werkstoffen mit hoher Dielektrizitätskonstante

EP1538235 Art A1 8. Juni 2005

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1538235
Aktenzeichen: EP04027638
Anmeldetag: 22. November 2004
Veröffentlichung: 8. Juni 2005
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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