Gerät und Methode für grossflächige Lithographie

EP1538482 Art B1 17. Februar 2016

Anmelder: Obducat AB 🇸🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1538482
Aktenzeichen
EP03445141
Anmeldetag
5. Dezember 2003
Veröffentlichung
17. Februar 2016
Erteilung
17. Februar 2016
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/00G03F7/20H05K3/00H05K3/10B82Y40/00B82Y10/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Obducat AB
Land
🇸🇪 Schweden

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik
Vertreten von
Aurell, Henrik Malmö, Schweden
488
Patente gesamt
26
Fachgebiete
12
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Nachrichtentechnik & Telekommunikation Software & Datenverarbeitung Medizintechnik & Gesundheit Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Hochbau & Gebäudetechnik
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