Fotolithographiemaskenreparatur
EP1540665
Art A2
15. Juni 2005
Anmelder: FEI COMPANY, FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1540665
- Aktenzeichen
- EP03756838
- Anmeldetag
- 18. September 2003
- Veröffentlichung
- 15. Juni 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G21G5/00G03F1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- FEI COMPANY
FEI Company - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
506 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
618
Patente gesamt
28
Fachgebiete
4
Anmelder-Länder
Schwerpunkte