Verfahren und Vorrichtung zur Aberrationskorrektur in Ladungsträgerteilchenstrahlen
EP1544894
Art A3
8. Juni 2011
Anmelder: JEOL LTD., Jeol Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1544894
- Aktenzeichen
- EP04257912
- Anmeldetag
- 17. Dezember 2004
- Veröffentlichung
- 8. Juni 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/153H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- JEOL LTD.
Jeol Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
JEOL
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.
520 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Cross, Rupert Edward Blount
London, Großbritannien
2.091
Patente gesamt
33
Fachgebiete
17
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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Boult Wade Tennant LLP
Boult Wade Tennant LLP · London
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